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半导体超净厂房纯气系统及实例...

时间:2011-04-16 21:28来源: 作者: 点击:等待统计信息……
摘要:简述半导体芯片制造中所用气体的纯度标准,并通过实例,对制备方法及流程、输送系统设计及特点、气体站设计以及参数的检测等进行了阐述。 作者: 林晓莹 出自:《洁净与空调技术》(2002年第2期)……
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   简述半导体芯片制造中所用气体的纯度标准,并通过实例,对制备方法及流程、输送系统设计及特点、气体站设计以及参数的检测等进行了阐述。 
作者: 林晓莹   出自:《洁净与空调技术》(2002年第2期) 

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