你好! - 轻松快乐从此开始!

洁净网-洁净室行业信息资讯

当前位置: 洁净网 > 技术资料 >

用CFD方法优化设计ISO5级(百级)洁净室(2)...

时间:2011-08-31 16:28来源: 作者: 点击:等待统计信息……
摘要:边界条件:墙体边界设为无滑移边界条件。送风边界条件,送风速度取过滤器面风速平均值,速度方向竖直向下。回风边界条件,回风口满足充分发展段紊……
AD

边界条件:墙体边界设为无滑移边界条件。送风边界条件,送风速度取过滤器面风速平均值,速度方向竖直向下。回风边界条件,回风口满足充分发展段紊流出口模型。由于室内热负荷较小,不考虑温度浮升效应对气流的影响。采用混合迎风差分格式对偏微分方程进行离散,基于有限容积法的SIMPLEST算法进行求解。

洁净网

2.2 物理模型及计算结果分析

方案一将风机过滤器单元(规格为1.2m×1.2m)成条型居中布置于天花板,满布比在25%,回风采用全地面均匀散布穿孔板作为回风口。物理模型平面图如图1。经模拟计算得到气流流场示于图3,由于送风口在Y方向呈对称布置,图中只给出一半流场。从图中可见,在送风口下方流线垂直向下,流线平行较好,而在送风口至墙体范围内有较大的涡流区,则主流区范围减少,不能使全室工作区达到较高级别。同时粒子也会被卷吸进入主流区,排除污染物的路径增长,增加污染的可能性。

洁净网

 
图1 FFU布置平面示意图(条型)   图2 FFU布置平面示意图(均匀)


图3 FFU条型布置YZ截面流场图


图4 FFU均匀布置YZ截面流场图

方案二将FFU(规格为1.2m×1.2m)散布于天花板,满布比仍为25%,过滤器面风速在0.45 m/s,回风采用全地面均匀散布高架格栅地板作为回风口。物理模型平面示意图如图2,气流流场分布如图4。模拟计算显示,对于均匀布置FFU方案,工作区1.2m及0.8m高度断面平均风速分别为0.1545m/s、0.1516m/s,可见散布末端过滤器送风口可以减小速度的衰减。虽然在送风口之间上部存在反向气流,形成小的涡流区,但在工作区0.8m-1.2 m范围内已形成竖直向下的流线,时均流线平行较好,由于此洁净室产热量较小,热气流对流线影响可忽略,不会产生逆向污染,因此上部的涡流不会对主流区产生影响。空气中的微粒在重力、惯性和扩散三种作用力下运动速度和位移是微小的,直径在1μm时,微粒跟随气流运动的速度和气流速度相差不会大于10-3【3】。此设计中新风处理机组设三级过滤器,FFU中过滤器为U15≥99.9995%@MPPS,直径>1μm的微粒可视为零,因此,工作区产生的微粒能完全跟随气流一起运动,直接排出洁净室。

当进一步减小满布比时模拟计算可知,除送风口正下方—定区域外,其余部分已根本不能保证气流接近垂直向下,过滤器之间存在一个从天花板到地面贯通的巨大涡流区,污染物极易被卷吸进入涡流区内而不易排出。

经过模拟计算及分析,我们认为在送风口满布比为25%,均匀分布FFU,采用全地面均匀散布穿孔板回风,过滤器面风速在0.45m/s,相应换气次数为147次/小时,由于FFU可达到较大的送风面风速,以及均匀散布穿孔地板回风口的均流作用,因为如果采用侧墙下侧回风,就会在洁净室中间下部区域形成较大的涡流三角区【5】,因此,洁净室内能够形成比较合理的气流流形,在主流区内能形成基本垂直向下的流线,但在靠近四周墙壁处,由于形成受限射流,出现涡旋,因此在布置设备时,应避免将设备靠墙壁布置,而应留有一定距离,这是洁净室施工完毕,开始投入使用时应加以注意的。另外,此设计中虽然不能形成如传统满布高效过滤器送风口而形成的全室平行气流,但美国标准IES-RP-CC012.1【6】中已认为ISO5级洁净室也可采用非单向流流型或混合流型。 洁净网

3 理论计算洁净度
洁净室的洁净度级别由通风系统和室内污染源所决定。可以通过数学公式对其进行计算。根据粒子平衡理论,进入洁净室的粒子有室外新风带入、循环空气带入及室内污染源。对于电子厂房室内污染源主要是工作人员的产尘,而设备产尘很小可忽略不计。从洁净室排出的粒子有回风带出及由于室内正压而渗出的粒子。可得如下方程【7】:

洁净网

 

洁净网

达到平衡状态时,浓度方程变为: 洁净网

  洁净网

其中 洁净网

 

以上式中:Q,送风量,m3/sq,渗出的空气量,m3/s;V,洁净室的容积,m3;x,循环风的比例,此处为1;c,洁净室的浓度,粒/m3;c0,洁净室的初始浓度,粒/m3;c∞,洁净室的平衡浓度,粒/m3;c1,渗出空气的浓度,粒/m3;cout ,室外新风的浓度,粒/m3;t ,时间;ηout,新风过滤器效率;ηrec,回风过滤器效率;S,室内污染源,粒/秒;ε,通风效率。

(责任编辑:admin)

------分隔线----------------------------

栏目列表
推荐内容
二维码生成器
AD