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洁净室内悬浮粒子的测定:显微镜法和光散射式粒子计数器法 洁净网 1. 显微镜法 用采样泵戏入洁净室内的空气,用滤膜捕集粒径5μm以上的微粒,并用显微镜测量的其大小和数量。该方法中,粒径是每个粒子的最 大直径表示的。 捕集方法:吸入空气量为10L/min在30分钟内吸入300L,采样高度离地板100cm,测定位置。
2. 光散射式粒子计数器法 这是对洁净室内粒径在0.5μm以上的微粒,用光散射式粒子计数器直接连续测定其大小和数量的方法。这种方法测得的粒径不表示悬浮粒子的绝对粒径值,而是表示具有等效散射光的标准粒子的直径。 该测定方法,对光散射式粒子计数器的构造,功能及特性等都有具体规定。 测定时,设定粒径选择开关,测定的空气量至少要达1升,测量可连续或者间歇方式进行。但是,估计粒子浓度可能超过500个/升时,只要是计数值能指出500左右,就可以适当减少测定的空气量,但不要少于0.1升。 测定仪器显示出计数值后,微粒浓度可按下式计算 P=N/Qt P为单位体积内的粒子数,即计数浓度[个/升],N表示个数[个], Q为吸入空气量[升/分钟],t为测定时间[分钟]。 (责任编辑:admin) |