无尘室/洁净室/净化车间,标准规格洁净说明

无尘室/洁净室/净化车间标准规格说明（一）

目前世界各国虽有自订规格，但普遍还是采用美国联邦标准209为多，今就209D及209E和世界上其他各国之所订标准再做更进一步之介绍与相互比较。表1-1为美国联邦标准209D之洁净室规格。洁净网

表1-1 美国联邦标准209D洁净室规格洁净网

洁净室级数（Class) 洁净网	微尘粒子		压力	温度						风速与换气率（次/hr)	照度lux
	粒子大小um	粒子数目Particles/ft³	mmAg	值域℃	推薦值℃	误差值℃	最大MAX%	最小MIN%	误差%	层流方式0.35~0.55 m/s 洁净网	1080 ~ 洁净网 1620 洁净网
1	≧0.5	≦1	＞1.3	19.4~25	22.2	±2.8 　洁净网特洁净网殊洁净网需洁净网求洁净网 ±1.4 洁净网	45	30	±10 　洁净网特洁净网殊洁净网需洁净网求洁净网 ±5 洁净网
	≧5.0	0
10	≧0.5	≦10
	≧5.0	0
100	≧0.5	≦100
	≧5.0	≦1
1000	≧0.5	≦1000								乱流方式≧20 次/hr
	≧5.0	≦10
10000	≧0.5	≦10000
	≧5.0	≦65
100000	≧0.5	≦100000
	≧5.0	≦700

至于209E和209D等最大之不同点在于209E表示单位增加了公制单位，即洁净室等级以“M”字头表示，如M1、M1.5、M2、M2.5、M3......依此类推，其目的在于配合国际公制单位之标准化。M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中≧0.5um之微尘粒子数目字以10的幂次方表示，而取指数为之；若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间（即非整数，则以1.5、2.5、或3.5......等表示之。表1-2即为1992年9月新颁布之美国联邦标准209E之内容，前述之M字母后的数字，可从表中0.5um列的数值中求出，读者可试算之。

表1-2 美国联邦标准209E

洁净网

洁净度等级洁净网		微尘粒子洁净网
		0.1um 洁净网		0.2um 洁净网		0.3um 洁净网		0.5um 洁净网		5um 洁净网
		单位洁净网		单位洁净网		单位洁净网		单位洁净网		单位洁净网
公制洁净网	英制洁净网	(m³) 洁净网	(ft³) 洁净网	(m³) 洁净网	(ft³) 洁净网	(m³) 洁净网	(ft³) 洁净网	(m³) 洁净网	(ft³) 洁净网	(m³) 洁净网	(ft³) 洁净网
M1 洁净网	洁净网	350 洁净网	9.91 洁净网	75.7 洁净网	2.14 洁净网	30.9 洁净网	0.875 洁净网	10.0 洁净网	0.283 洁净网	- 洁净网	- 洁净网
M1.5 洁净网	1 洁净网	1240 洁净网	35.0 洁净网	265 洁净网	7.50 洁净网	106 洁净网	3.00 洁净网	35.3 洁净网	1.00 洁净网	- 洁净网	- 洁净网
M2 洁净网	洁净网	3500 洁净网	99.1 洁净网	757 洁净网	21.4 洁净网	309 洁净网	8.75 洁净网	100 洁净网	2.83 洁净网	- 洁净网	- 洁净网
M2.5 洁净网	10 洁净网	12400 洁净网	350 洁净网	2650 洁净网	75.0 洁净网	1060 洁净网	30.0 洁净网	353 洁净网	10.0 洁净网	- 洁净网	- 洁净网
M3 洁净网	洁净网	35000 洁净网	991 洁净网	7570 洁净网	214 洁净网	3090 洁净网	87.5 洁净网	1000 洁净网	28.3 洁净网	- 洁净网	- 洁净网
M3.5 洁净网	100 洁净网	- 洁净网	- 洁净网	26500 洁净网	750 洁净网	10600 洁净网	300 洁净网	3530 洁净网	100 洁净网	- 洁净网	- 洁净网
M4 洁净网	洁净网	- 洁净网	- 洁净网	75700 洁净网	2140 洁净网	30900 洁净网	875 洁净网	10000 洁净网	283 洁净网	- 洁净网	- 洁净网
M4.5 洁净网	1000 洁净网	- 洁净网	- 洁净网	- 洁净网	- 洁净网	- 洁净网	- 洁净网	35300 洁净网	1000 洁净网	247 洁净网	7.00 洁净网
M5 洁净网	洁净网	- 洁净网	- 洁净网	- 洁净网	- 洁净网	- 洁净网	- 洁净网	100000 洁净网	2830 洁净网	618 洁净网	17.5 洁净网
M5.5 洁净网	10000 洁净网	- 洁净网	- 洁净网	- 洁净网	- 洁净网	- 洁净网	- 洁净网	353000 洁净网	10000 洁净网	2470 洁净网	70.0 洁净网
M6 洁净网	洁净网	- 洁净网	- 洁净网	- 洁净网	- 洁净网	- 洁净网	- 洁净网	1000000 洁净网	28300 洁净网	6180 洁净网	175 洁净网
M6.5 洁净网	100000 洁净网	- 洁净网	- 洁净网	- 洁净网	- 洁净网	- 洁净网	- 洁净网	3530000 洁净网	100000 洁净网	24700 洁净网	700 洁净网
M7 洁净网	洁净网	- 洁净网	- 洁净网	- 洁净网	- 洁净网	- 洁净网	- 洁净网	10000000 洁净网	283000 洁净网	61800 洁净网	1750 洁净网

美国联邦标准FS 209D 都以英制每立方英尺为单位，而日本则是采用公制，即以每立方公尺为单位；另外209D与日本JIS（B9920-1989）标准中另一不同点为209D是以0.5um之粒子数为计数基准，而日本则以0.1um微粒子为计数标准。日本标准之表示法是以Class1,Class2,Class3,......Class8表示，即最好之等级为Class1,最差则为Class8,表1-3为日本JIS（9920-1989）之标准规定的粒子上限数（个/m³）。其Class1，Class2...之数目字以0.1um粒子为基准，而以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10之幂次方，取其指数而得。洁净网

表1-3 日本JIS（9920 ~1989）标准

洁净网

粒径\级数	Class1	Class2	Class3	Class4	Class5	Class6	Class7	Class8
0.1	10¹	10²	10³	10⁴	10⁵	10⁶	10⁷	10⁸
0.2	2	24	236	2，360	23，600	-	-	-
0.3	1	10	101	1，010	10，100	101，000	1，010，000	10，100，000
0.5	-	-	35	350	3，500	35，000	350，000	3，500，000
5.0	-	-	-	-	29	290	2，900	29，000

(责任编辑：admin)

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