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目前世界各国虽有自订规格，但普遍还是采用美国联邦标准209为多，今就209D及209E和世界上其他各国之所订标准再做更进一步之介绍与相互比较。表1-1为美国联邦标准209D之洁净室规格。表1-1 美国联邦标准209D洁净室规格 洁净室级数（Class) 微尘粒子 压力 温度 风速与换气率（次/hr)照度lux 粒子大小um 粒子数目Particles/ft 3 mmAg 值域℃ 推薦值℃ 误差值℃ 最大MAX% 最小MIN%误差% 层流方式0.35~0.55 m/s 1080 ~ 1620 1 ≧0.5 ≦1 ＞1.3 19.4~25 22.2 ±2.8特 殊 需 求 ±1.4 45 30 ±10 特 殊 需 求 ±5 ≧5.0 0 10 ≧0.5 ≦10 ≧5.0 0 100≧0.5 ≦100 ≧5.0 ≦1 1000 ≧0.5 ≦1000 乱流方式≧20 次/hr ≧5.0 ≦10 10000 ≧0.5≦10000 ≧5.0 ≦65 100000 ≧0.5 ≦100000 ≧5.0 ≦700至于209E和209D等最大之不同点在于209E表示单位增加了公制单位，即洁净室等级以“M”字头表示，如M1、M1.5、M2、M2.5、M3......依此类推，其目的在于配合国际公制单位之标准化。M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中≧0.5um之微尘粒子数目字以10的幂次方表示，而取指数为之；若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间（即非整数，则以1.5、2.5、或3.5......等表示之。表1-2即为1992年9月新颁布之美国联邦标准209E之内容，前述之M字母后的数字，可从表中0.5um列的数值中求出，读者可试算之。 表1-2 美国联邦标准209E 洁净度等级 微尘粒子 0.1um 0.2um 0.3um 0.5um 5um 单位 单位 单位 单位单位 公制 英制 (m 3 ) (ft 3 ) (m 3 ) (ft 3 ) (m 3 ) (ft 3 ) (m 3 ) (ft 3) (m 3 ) (ft 3 ) M1 350 9.91 75.7 2.14 30.9 0.875 10.0 0.283 - -M1.5 1 1240 35.0 265 7.50 106 3.00 35.3 1.00 - - M2 3500 99.1 75721.4 309 8.75 100 2.83 - - M2.5 10 12400 350 2650 75.0 1060 30.0353 10.0 - - M3 35000 991 7570 214 3090 87.5 1000 28.3 - - M3.5 100- - 26500 750 10600 300 3530 100 - - M4 - - 75700 2140 30900 87510000 283 - - M4.5 1000 - - - - - - 35300 1000 247 7.00 M5 - - - -- - 100000 2830 618 17.5 M5.5 10000 - - - - - - 353000 10000 247070.0 M6 - - - - - - 1000000 28300 6180 175 M6.5 100000 - - - - - -3530000 100000 24700 700 M7 - - - - - - 10000000 283000 61800 1750美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英尺为单位，而日本则是采用公制，即以每立方公尺为单位；另外209D与日本JIS（B9920-1989）标准中另一不同点为209D是以0.5um之粒子数为计数基准，而日本则以0.1um微粒子为计数标准。日本标准之表示法是以Class1,Class2,Class3,......Class8表示，即最好之等级为Class1,最差则为Class8,表1-3为日本JIS（9920-1989）之标准规定的粒子上限数（个/m3）。其Class1，Class2...之数目字以0.1um粒子为基准，而以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10之幂次方，取其指数而得。表1-3 日本JIS（9920 ~1989）标准 粒径\级数 Class1 Class2 Class3 Class4 Class5Class6 Class7 Class8 0.1 10 1 10 2 10 3 10 4 10 5 10 6 10 7 10 80.2 2 24 236 2，360 23，600 - - - 0.3 1 10 101 1，010 10，100 101，0001，010，000 10，100，000 0.5 - - 35 350 3，500 35，000 350，000 3，500，0005.0 - - - - 29 290 2，900 29，000在德国工业及医学等之多数领域中，洁净室是为相关产业界所重视和期望发展之技术，因此在1967年完成了德国的洁净室规格，在德国规格中洁净室等级之表示法与美国规格不同，其表示法是以4*10”的形式表示粒径0.5um以上之粒子数，而以其中之指数n规定等级，如4*103 即表示等级为3，此等级与美国联邦规格Class100想近似。表1-4为德国规格所容许之粒子数与美国、法国、近似等级之表示。表1-4 德国规格表 等级 微尘粒径(um) 与别国等级比较 0.5 1 5 美国 法国 3 4*10 3 1*10 3 - 1004000 4 4*10 4 1*10 4 0.03*10 4 - - 5 4*10 5 1*10 5 0.03*10 5 10000400000 6 4*10 6 1*10 6 0.03*10 6 100000 4000000表1-5为美国联邦标准209D标准粒子之数目上限值（个/ ft 3）（以0.5u粒子为依准）。由于美国与日本之规格中所表示之单位分类不同，为让使用人员有一快速之获知二者之相近标准等级，以期运用于工作上，故有必要将二者之间做一洁净度级别之换算，如表1-6表1-5 美国209D规定粒子数（上限值） 等级 Class1 Class10 Class100 Class1000Class10，000 Class100，000 0.1 35（1，225） 350（12，250 - - - - 0.27.5（263） 75（2，630） 750（26，300） - - - 0.3 3（105） 30（1，050）300（10，500） - - - 0.5 1（35） 10（350） 100（3，500） 1000（35，000）10，000（350，000） 100，000（3，500，000） 5.0 - - - 7 70 700 *（）内之数值单位：个/M3 。 表1-6 美日洁净度级别换算 日本 美国 级别3 Class 1 级别4 Class 10 级别5 Class 100 级别6Class 1000 级别7 Class 10000 级别8 Class 100000除了美国、日本、德国、之洁净室标准外，世界上尚有英国、法国、澳洲及韩国、中国大陆之规格，表1-6即为世界各国洁净度等级规格之比较。表1-6 世界各国洁净度等级规格表 国名 美国 美国 日本 英国 德国 法国 澳洲 韩国 中国大陆 规格 FS209D FS209EJIS B 9920 BS 5295 VDI 2083 AFN 4410 AS 1386 KS QJ2214 年度 1988 19921989 1989 1990 1981 1989 1991 1991 基准粒子(um) 0.5 0.5 0.1 0.5 1 0.50.5 0.3 0.1 0.5 单位 pcs/ft 3 pcs/M 3 pcs/M 3 pcs/M 3 pcs/M 3 pcs/M 3pcs/M 3 pcs/M 3 pcs/M 3 Class - - 1 - - - - M1 0.1um ~ 1 - M1 2 - 0- - M10 0.1um ~ 5 1 M1.5 3 C 1 - 0.035 M100 0.1um ~ 10 10 M2.5 4 D2 - 0.35 M1000 1 100 M3.5 5 E or F 3 4,000 3.5 M10000 100 1000 M4.56 G or H 4 - 35 M100,000 1,000 10,000 M5.5 7 I 5 400,000 350M1,000,000 10,000 100,000 M6.5 8 J 6 4,000,000 3500 M10,000,000100,000 - M7 - K 7 - - - - - - - L - - - - - *以0.5um为区别。 (责任编辑：admin) |
