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   简述半导体芯片制造中所用气体的纯度标准，并通过实例，对制备方法及流程、输送系统设计及特点、气体站设计以及参数的检测等进行了阐述。 
作者： 林晓莹   出自：《洁净与空调技术》(2002年第2期)