洁净技术作为一门涉及多专业的科学技术,正逐渐独立成为一门边缘分支学科。并已被广泛应用于诸多行业,如微电子、半导体、磁盘工业、光纤、制药、医院、食品、化妆品等。作为洁净技术的一顶分支,空气净化技术发展得也非常迅速。最小控制颗粒直径己从0.5μ发展到0.128μ。并且离子污染在一些特殊工艺上也进行了控制。 |
洁净技术作为一门涉及多专业的科学技术,正逐渐独立成为一门边缘分支学科。并已被广泛应用于诸多行业,如微电子、半导体、磁盘工业、光纤、制药、医院、食品、化妆品等。作为洁净技术的一顶分支,空气净化技术发展得也非常迅速。最小控制颗粒直径己从0.5μ发展到0.128μ。并且离子污染在一些特殊工艺上也进行了控制。 |