2.2 对有关推荐或参考值的讨论
近年来不少人通过实验认为这些推荐或参考值过于保守，其论点可归纳为：
(1) 洁净室内气流的横向扩散只在甚低的流速下才有可能，单向流在合理的气流组织下，流速 0.05 ～ 0.1m/s 就足够带走污染物，在此流速下亚微米粒子的扩散性能远低于对流性能；而大于 0.36m/s 的气流速度反而易千百万涡流，引起污染物的再卷入。因此，洁净室的理想自净时间 Tr= 体积 / 流率，到一定值后由于污染物的再卷入，再增大气流速度，实际的 Tr 并不再有明显的减少。 洁净网

(2) 末级过滤器的效率对洁净度的影响是值得起注意的。有的气流速度 / 换气次数推荐或参考值对末级过滤器效率提高的因素往往没作考虑。当前 HEPA/ULPA 的效率从 99.67% 、 99.99% 、 99.999% 、 99.9995% 直至 8 个 9 以上都可选择。其效率对气流速度的影响除以上已提及外，以下方面亦值得引起注意，在非单向流情况下，按衡释原理的洁净室内含尘浓度稳定公式可以得出：
(a) 室内发尘量较高时，末级过滤器效率的变化对洁净度影响甚微，因此在这种情况下，过高的过滤效率是无必要的。
(b) 室内发生尘量较低的情况下，采用低的气流速度下，末级过滤器效率的变速器变化，对洁净度的影响增大。
以上情况可以引用的图 1a ～ 1c 看出。

作图有关数据：
新风进末过滤器前的含尘浓度 1.75×106 个 /m3
室内发生量 :G1=350 个 /m3.min
G2=3500 个 /m3.min
G3=35000 个 /m3.min
G4=350000 个 /m3.min
新风量对于全空气量的比率 0.03
当前有的 IC 工厂其 ISO5 级 (0.3μm) 的洁净室，采用 FFU 系统 , 带 ULPA(99.9995%,0.12μm) ，出口风速为 0.38m/s ，其满布率为 25% ，这样室内平均气流速度为 0.095m/s ，在各有关推荐或参考值的下限下。此洁净室的工艺加工在微环境内洁净室内的人员亦较少，可以认为洁净室内发生较低，这种情况下采用低的气流速度可能是可取的。
据报道，目前 IEST 对洁净室内气流速度推荐值的下限有所降低，如：
≤ISO5 级：气流速度 0.2 ～ 0.5m/s ；
ISO6 级或 5 级（非单向流）；换气次数＞ 200 次 /h ；
ISO7 级：换气次数 20 ～ 200 次 /h;
ISO8 级：换气次数 2 ～ 20 次 /h; 洁净网

三 .FFU 系统的应用
3.1 当前 FFU 的情况
FFU 在使用寿命及维护上已经实践证明无可担心。当前其改进主要是：
(1) 采取均流及减少噪音的措施，噪音可在 50db 以内 ;
(2) 电动机采用 DC/EC （电子整流电机），以耗较原交流电机节约近 50% ，因为小风机所用小容量（功率 <1/2HP ）的交流电机，一般皆为电容分相式或隐极式，其效率仅 40% 左右，而 DC/EC 电机的效率可达 75 ～ 80% ；在调速控制上可每台单独的以过滤器降压进行控制以节约能耗，但目前投资回收期尚长而未广泛采用，一般常用分组群控或全部群控。
(3) 但 FF 瓣出口静压不能过大，一般采用出口风速成 0.38m/s ，此时其静压一般在 250Pa 以内。
3.2FFU 回风系统与其他方式相比的优点
3.2.1 一般评价
优点：
(1) 灵活性大，便于改造；
(2) 占用建筑物空间较少； 洁净网
(3) 洁净室内空气压力大于回风静压室，排除静压室对洁净室污染的可能性。
缺点：
(1) 要求回风道全部阻力（包括多孔地板、格栅及风道）、干表冷器阻力及末级过滤器的阻力（在初阻力时），总共应控制在 165Pa 左右，以满足运行时最大阻力在 250Pa 以内。因此干表冷器的传热面积要较大，回风道尺寸亦要较大，多孔地板及格栅等的阻力要小，一般作法是：控制干表冷器阻力在 50Pa 左右，回风道阻力在 15Pa 以内，否则就需要再增设加压风机系统，这就是降低了 FFU 系统的综合优点。
(2) 采用 DC/EC 电机后，单位风量的能耗可能比当前一般大型离心风机的集中系统为低，但已有研究指出，比采用改进后的大型轴流风机的回风系统的能耗还是要高。因此需要注意大型轴流风机的效率提高及其系统的阻力降低的因素。
(3) 一般 FFU 系统由于单位风量的能耗较大，因此洁净室的冷负荷亦相应增加。 洁净网
3.2.2 具体情况下的评价
(1)FFU 用于老建筑物改造成洁净室时，其综合经济性一般往往可取。
(2) 洁净度要求严的洁净室，末级过滤器满布率 100% 时，对大的系统采用 FFU ，当前还是不经济的；对小系统有意义作具体比较。
(3) 对洁净度要求不甚严的洁净室，末级过滤器满布率 ≤40% 时对大系统综合经济性往往相差不多，但对 IC 工厂而言 FFU 系统的灵活性是重要的，因此当前 IC 工厂对过滤器满布率 ≤40% 时，采用 FFU 系统已经普遍。

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