AD
半导体无尘室安全工作规范 一、无尘室须知 15. 脱下之无尘衣应吊好，并放于更衣室内上层柜子中;鞋套应放置于吊好的无尘衣下方。 16. 更衣室内小柜中，除了放置无尘衣等规定物品外，不得放置其它物品。 17. 除规定纸张及物品外，其它物品一概不得携入无尘室。 18. 无尘衣等不得携出无尘室，用毕放置于规定处所。 19. 口罩与手套可视状况自行保管或重复使用。 20. 任何东西进入无尘室，必须用洒精擦拭干净。 21. 任何设备的进入，请知会管理人，在无尘室外擦拭干净，方可进入。 22. 未通过考核之仪器，禁止使用，若遇紧急情况，得依紧急处理步骤作适当处理，例如关闭水、电、气体等开关。 23. 无尘室内绝对不可动火，以免发生意外。 二、无尘室操作须知 1. 处理芯片时，必须戴上无纤维手套，使用清洗过的干净镊子挟持芯片，请勿以手指或其它任何东西接触芯片，遭碰触污染过的芯片须经清洗，方得继续使用： (1) 任何一支镊子前端(即挟持芯片端)如被碰触过，或是镊子掉落地上，必须拿去清洗请勿用纸巾或布擦拭脏镊子。 (2) 芯片清洗后进行下一程序前，若被手指碰触过，必须重新清洗。 (3) 把芯片放置于石英舟上，准备进炉管时，若发现所用镊子有污损现象或芯片上有显眼由镊子所引起的污染，必须将芯片重新清洗，并立即更换干净的镊子使用。 2. 芯片必须放置盒中，盖起来存放于规定位置，尽可能不让它暴露。 3. 避免在芯片上谈话，以防止唾液溅于芯片上，在芯片进扩散炉前，请特别注意，防止上述动作产生，若芯片上沾有纤维屑时，用氮气枪喷之。 4. 从铁弗龙(Teflon)晶舟，石英舟(Quartz Boat)等载具(Carrier)上，取出芯片时，必须垂直向上挟起，避免刮伤芯片，显微镜镜头确已离芯片，方可从吸座上移走芯片。 5. 芯片上，若已长上氧化层，在送黄光室前切勿用钻石刀在芯片上刻记。 洁净网 6. 操作时，不论是否戴上手套，手绝不能放进清洗水槽。 7. 使用化学站或烤箱处理芯片时，务必将芯片置放于铁弗龙晶舟内，不可使用塑料盒。 8. 摆置芯片于石英舟时，若芯片掉落地上或手中则必须重新清洗芯片，然后再进氧化炉。 9. 请勿触摸芯片盒内部，如被碰触或有碎芯片污染，必须重作清洗。 10. 手套，废纸及其它杂碎东西，请勿留置于操作台，手套若烧焦、磨破或纤维质变多必须换新。 11. 非经指示，绝不可开启不熟悉的仪器及各种开关阀控制钮或把手。 12. 奇怪的味道或反应异常的溶液，颜色，声响等请即通知相关人员。 13. 仪器因操作错误而有任何损坏时，务必立刻告知负责人员或老师。 14. 芯片盒进出无尘室须保持干净，并以保鲜膜封装，违者不得进入。 15. 无尘室内一律使用原子笔及无尘笔记本做记录，一般纸张与铅笔不得携入。 三、黄光区操作须知 1. 湿度及温度会影响对准工作，在黄光区应注意温度及湿度，并应减少对准机附近的人，以减少湿、温度的变化。 2. 上妥光阻尚未曝光完成之芯片，不得携出黄光区以免感光。 3. 己上妥光阻，而在等待对准曝光之芯片，应放置于不透明之蓝黑色晶盒之内， 盒盖必须盖妥。 4. 光罩使用时应持取边缘，不得触及光罩面，任何状况之下，光罩铬膜不得与他物接触，以防刮伤，光罩之落尘可以氮气枪吹之。 5. 曝光时，应避免用眼睛直视曝光机汞灯。 四、镊子使用须知 1. 进入实验室后，应先戴上手套后，再取镊子，以免沾污。 2. 唯有使用干净的镊子，才可持取芯片，镊子一旦掉在地上或被手触碰，或因其它原因而遭污染，必须拿去清洗，方可再使用。 3. 镊子使用后，应放于各站规定处，不可任意放置，如有特殊制程用镊子，使用后应自行保管，??可和实验室内各站之镊子混合使用。 洁净网 4. 持镊子应采"握笔式"姿势挟取芯片。 5. 挟取芯片时，顺序应由后向前挟取，放回芯片时，则由前向后放回，以免刮伤芯片表面。 6. 挟取芯片时，"短边" (锯状头)置于芯片正面，"长边" (平头)置于芯片背面，挟芯片空白部分，不可伤及芯片。 7. 严禁将镊子接触酸槽或D.I Water水槽中。 8. 镊子仅可做为挟取芯片用，不准做其它用途。 五、化学药品使用须知 1. 化学药品的进出须登记，并知会管理人，并附上物质安全资料表（MSDS）于实验室门口。 2. 使用化学药品前，请详读物质安全资料表(MSDS)，并告知管理 (责任编辑：admin) |
