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洁净室测试方法(4)...

时间:2011-10-29 07:01来源: 作者: 点击:等待统计信息……次
摘要：1 每个采样点的平均粒子浓度C i 应小于或等于洁净度等级规定的限值见表B.4.6-1。 表 B.4.6-1 洁净度等级及悬浮粒子浓度限值 洁净度等级 大于或等于表中粒……
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    1  每个采样点的平均粒子浓度Ci应小于或等于洁净度等级规定的限值见表B.4.6-1。
表B.4.6-1   洁净度等级及悬浮粒子浓度限值
洁净度等级
大于或等于表中粒径D的最大浓度Cn（Pc/m3）
0.1μm
0.2μm
0.3μm
0.5μm
1.0μm
5.0μm
1
10
2
 —
—
—
—
2
100
24
10
4
—
—
3
1000
237
102
35
8
—
4
10000
2370
1020
352
83
—
5
100000
23700
10200
3520
832
29
6
1000000
237000
102000
35200
8320
293
7
—
—
—
352000
83200
2930
8
—
—
—
3520000
832000
29300
9
—
—
—
35200000
8320000
293000
注：1  本表仅表示了整数值的洁净度等级（N）悬浮粒子最大浓度的限值。
2  对于非整数洁净度等级，其对应于粒子粒径D（μm）的最大浓度限值（Cn），应按下列公式计算求取。
 
    3  洁净度等级的粒径范围为0.5～5.0μm，用于定级的粒径数不应大于3个，且其粒径
的顺序级差不应小于1.5倍。

(责任编辑：admin)
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