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洁净室测试方法(7)...

时间:2011-10-29 07:01来源: 作者: 点击:等待统计信息……
摘要:B.6.2 室内测点布置: 1 送回风口处; 2 恒温工作区具有代表性的地点(如沿着工艺设备周围布置或等距离布置); 3 没有恒温要求的洁净室中心; 4 测点一……
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B.6.2  室内测点布置:
    1  送回风口处;
    2  恒温工作区具有代表性的地点(如沿着工艺设备周围布置或等距离布置);
    3  没有恒温要求的洁净室中心;
    4  测点一般应布置在距外墙表面大于0.5m,离地面0.8的同一高度上;也可以根据恒温区的大小,分别布置在离地不同高度的几个平面上。
B.6.3  测点数应符合表B.6.1的规定。
B.6.1   温、湿度测点数
波动范围
室面积≤50m2
每增加20~50m2
△t=0.5±~±0.2℃
5个
增加3~5
△RH=±5%~±10%
△t≤±0.5℃
点间距不应大于2m,点数不应少于5个
△RH≤±5%
 
B.6.4  有恒温恒湿要求的洁净室。室温波动范围按各测点的各次温度中控制点温度的最大值,占测点总数的百分比整理成累积统计曲线。如90%以上测点偏差值在室温波动范围内,为符合设计要求。反之,为不合格。
    区域温度以各测点中最低的一次测试温度为基准,各测点平均温度与超偏差值的点数,占测点总数的百分比整理成累计统计曲线,90%以上测点所达到的偏差为区域温差,应符合设计要求。相对温度波动范围可按室温波动范围的规定执行。
 
B单向流洁净室截面平均速度,速度不均匀的检测
 
 
B室内噪声的检测
B.8.1  测噪声仪器应采用带倍频程分析的声级计。
B.8.2  测点布置应按洁净室面积均分,每50平方米设一点。测点位于其中心,距地面1.1~1.5m高度处或按工艺要求设定。


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