第5．1．1条洁净厂房内各洁净室的空气洁净度等级的确定，应符合下列要求： 洁净网

    一、洁净室内有多种工序时，应根据各工序的不同要求，采用不同的空气洁净度等级。

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    二、在满足人生产工艺要求的前提下，洁净室的气流组级别，宜采用局部工作区空气净化和全

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    室空气净化相结合的形式。

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    第5.1.2条 层流洁净室和乱流洁净室以及运行班次和使用时间不同的洁净室，其净化空气调节系统均宜分开设置。 洁净网

    第5．1．3条洁净室内的计算温、温度、应符合下列规定： 洁净网

    一、满足生产工艺要求

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    二、生产工艺无温、湿度要求时，洁净室温度为20～26度，温度70度。

    第5．1．4条洁净室内应保证一定的新鲜空气量，其数值频取下列风量中的最大值； 洁净网

    一、乱流洁净室总送风量的10%～30%，层流洁净室总送风量的2～4%。 洁净网

    二、补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量。

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    三、保证室内每人每小时的新鲜空气量不小于40立方米。

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    第5．1．5条洁净区的清扫，宜采用移动式高效真空吸尘器或设置集中式真空吸尘系统。洁净室内集中式真空吸尘系统的管道，应暗敷。 洁净网

    第5．1．6条在净化空气调节系统设计中，对施工和维护管理要求，可按附录四和附录五的规定。 洁净网

    第二节 洁净室正压控制

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    第5．2．1条洁净室必须维持一定的正压。不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的静压差，应不小于4.9Pa，洁净区与室外的静压差，应不小于9.8Pa。

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    第5．2．2条洁净室维持不同的正压值所需的正压风量，宜按下式计算：

    Q＝q1·Σ（q·L） （5.2.2） 洁净网

    式中：Q--维持洁净室正压值所需的正压风量(米3/时)； 洁净网

    a--根据围扩结构气密性确定的安全系数，可取1.1～1.2； 洁净网

    q--当洁净室为某一正压值时，其围护结构单位长度缝隙的渗漏风量(米3/时·米)；

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    L--围扩结构的缝隙长度(米)。 洁净网

    第5．2．3条围护结构单位长度缝隙的渗漏风量，可按表5.2.3采用。

    压差(Pa) 门 窗 形 式

    非密闭门 密闭门 单层固定密闭木窗 单层固定密闭钢窗 单层开启式密闭钢窗 传递窗 壁板

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    漏风量（米3/时·米） 洁净网

    4.9 17 4 1.0 0.7 3.5 2.0 0.3 洁净网

    9.8 24 6 1.5 1.0 4.5 3.0 0.6

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    14.7 30 8 2.0 1.3 6.0 4.0 0.8 洁净网

    19.6 36 9 2.5 1.5 7.0 5.0 1.0

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    24.5 40 10 2.8 1.7 8.0 5.5 1.2

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    29.4 44 11 3.0 1.9 8.5 6.0 1.4

    34.3 48 12 3.5 2.1 9.0 7.0 1.5

    39.2 52 13 3.8 2.3 10.0 7.5 1.7 洁净网

    44.1 55 15 4.0 2.5 10.5 8.0 1.9 洁净网

    49.0 60 16 4.4 2.6 11.5 9.0 2.0

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    第5．2．4条送风、回风和排风系统的启闭联锁。系统开启时，联轴和序应为先启动送风机，再启动回风机和排风机，系统关闭时，则闻锁程序应相反。 洁净网

    第5．2．5条非连续运行的洁净室，可根据生产工艺要求设置值班风机，并应对新风进行处理。

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